在一些对零件质量要求极高的行业，比如精密仪器制造，真空热处理设备就成了香饽饽。因为在真空环境下对零件进行热处理，可以避免零件氧化、脱碳，让零件的功能更好、精度更高。在一些对零件质量要求极高的行业，比如精密仪器制造，真空热处理设备就成了香饽饽。因为在真空环境下对零件进行热处理，可以避免零件氧化、脱碳，让零件的功能更好、精度更
真空热处理设备制造，最关键的就是真空炉体和真空系统。真空炉体制造时，外壳一般用不锈钢板材焊接而成，焊接工艺要求非常高，必须保证焊缝完全密封，不能有丝毫漏气。炉体内部要安装加热元件，常见的加热元件有电阻丝、石墨棒等。制造电阻丝加热元件，要选用耐高温、抗氧化的合金材料，绕制成合适的形状后，固定在炉体内部的绝缘支架上。石墨棒加热元件制造时，要保证石墨的纯度和密度，纯度高、密度大的石墨棒，加热时功能更稳定。
真空系统制造是为了把炉体内部抽成真空。它主要由真空泵、真空阀门、真空测量仪表等组成。真空泵制造时，根据需要达到的真空度选择不同类型，像机械泵、扩散泵等。机械泵制造时，内部的转子、定子等部件加工精度要求很高，间隙过大，抽气效率就会降低；间隙过小，又容易磨损。真空阀门制造时，要保证密封功能良好，开关灵活。真空测量仪表制造时，要能准确测量炉内的真空度，常见的有热偶规、电离规等，制造时要校准仪表的测量精度。
安装真空热处理设备，首先要把真空炉体平稳地放置在基础上，用地脚螺栓固定好。安装真空系统时，把真空泵、阀门、仪表等按照设计要求连接好管道，管道连接要紧密，不能有泄漏。连接加热元件的电源线时，要注意线径和绝缘，防止发热和漏电。设备安装好后，要进行真空检漏。先用真空泵对炉体抽真空，然后用氦质谱检漏仪检测炉体和管道是否有漏气点，如果发现漏气，要及时处理。检漏合格后，调试加热系统，设定好加热温度和时间，观察加热元件是否正常发热，炉内温度是否均匀。还要调试真空系统，检查真空泵的抽气能力，看能否达到设备要求的真空度。只有真空热处理设备的制造和安装每一个环节都做到位，才能在真空环境下对零件进行高质量的热处理，满足高端制造业的需求。